间接式
      间接式质量流量计有 3种主要型式:速度式流量计与密度计的组合，节流式（或靶式）流量计与容积式流量计的组合，节流式（或靶式）流量计与密度计组合。还有一种根据流体的工作压力、温度将容积流量计的测量值换算成标准状态下的容积流量。但是，当介质的种类或成分改变时，它不能给出准确的质量流量。严格说来，它不属于质量流量计。 输出密度、比重、体积流量、质量流量、质量能量流量等，兼有指示、模拟量输出、打印、越限报警、仪器故障报警等多种功能。
科里奥利
      科里奥利质量流量计（简称科氏力流量计）是一种利用流体在振动管中流动而产生与质量流量成正比的科里奥利力的原理来直接测量质量流量的仪表。科氏力流量计结构有多种形式，一般由振动管与转换器组成。振动管（测量管道）是敏感器件，有u形、ω形、环形、直管形及螺旋形等几种形状，也有用双管等方式，但基本原理相同。下面以u形管式的质量流量计为例介绍。
气体质量流量控制器和流量计工作原理，流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。
质量流量控制器的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
       用途与特点编辑：质量流量控制器（mass flow controller缩写为mfc）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，cvd，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
       流量计一般分为以下几种类型：容积式流量计； 浮子式流量计；差压式流量计 ；涡街流量计；涡轮流量计；超声流量计；电磁流量计；热式流量计；

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